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ASML出货全新光刻机NXT2000i:将用于7nm/5nm工艺

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  • 2019-03-25
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简介IT之家8月5日消息ASML是一家专注于光刻机研发和制造的企业,它开发的光刻机代表着目前世界最高水平,而现在这家光刻机巨头已经开始出货最先进的NXT2000i光刻机,未来将会用于全新

IT之家8月5日消息 ASML是一家专注于光刻机研发和制造的企业,它开发的光刻机代表着目前世界最高水平,而现在这家光刻机巨头已经开始出货最先进的NXT2000i光刻机,未来将会用于全新的7nm和5nm的工艺。

ASML推出的NXT2000i光刻机光刻精度可以达到惊人的1.9nm,远低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。

目前ASML表示这款性能出众的光刻机将于本年度末正式量产,目前尚未确定光刻机的价格,不过按照目前ASML的定位,这款光刻机的定价应该在几千万至上亿美元之间。ASML的3400B EUV光刻机的报价是1.2亿美元一台,而14nm节点的光刻机报价则在7200万美元。

ASML公司占据了全球7成的光刻机市场,同时也是Intel、台积电、三星等晶圆制造商的供应商。

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